WF6 sa používa hlavne ako surovina pre proces chemického nanášania z pár (CVD) kovového volfrámu v elektronickom priemysle. WSi2 vyrobený z WF6 sa môže použiť ako materiál na výrobu vodičov vo veľkých integrovaných obvodoch (LSI) a môže sa tiež použiť ako surovina pre polovodičové elektródy, fluórové suroviny pre chemické činidlá, polymerizačné katalyzátory, optické materiály atď.